Schutz vor kleinen Aliens„Biologische Labore arbeiten mit Unterdruck, um im Havariefall die Gefahrenstoffe abzusaugen“, erklärt der Reinraumexperte. „Die Mikroelektronik hingegen arbeitet mit Überdruck, um alle Teilchen vom Werkstück fernzuhalten.“ Lösen lässt sich das Problem mit einem doppelwandigen Konzept, meint Udo Gommel. „Um den Reinraum, der zum Schutz der Proben vor Verunreinigung gedacht
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