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Mikroelektronik
♦ Mi|kro|elek|tro|nik auch: Mi|kro|elekt|ro|nik 〈f. 20; unz.〉 Teilgebiet der Elektronik, das sich mit der Herstellung u. dem Einsatz kleinster elektr. Bauelemente u. hochintegrierter Schaltkreise befasst ♦ Die Buchstabenfolge mi|kr… kann in Fremdwörtern auch mik|r… getrennt werden.
Ein Korrosionspfad mit Kupferdendriten, die eine Isolationsbarriere auf einem keramischen Schaltungstraeger kurzschliessen. (Bild: Fraunhofer IISB)
Der Prototyp einer Diamant-Schottkydiode mit gebondeten Golddrahtkontaktierungen. (Bild: Fraunhofer IISB)
Risse in einem Plasma-geaetzten Glassubstrat fuer Anwendungen in der Mikrofluidik. (Bild: Fraunhofer IISB)
Eine Silizium-Spirale, die durch thermisches Laserseparieren aus einem Silizium-Wafer hergestellt wurde. (Bild: Fraunhofer IISB)
Eine thermisch gestresste Passivationsschicht auf einem Silizium-Wafer. (Bild: Fraunhofer IISB)
Oberflaeche von plasma-modifizierten und titanbeschichteten Polydimethylsiloxan-Elektroden fuer die Stimulation von Nervenzellen. (Bild: Fraunhofer IISB)
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Auf dieses Keramiksubstrat wurde mithilfe der Strahldosiertechnologie kontaktlos Silber-Sinterpaste aufgetragen. (Bild: Fraunhofer IISB)
Vier direktgebondete MOSFET-Transistoren auf einem Siliziumsubstrat mit integrierten Kondensatorstrukturen. (Bild: Fraunhofer IISB)
Laser-gesinterte Kuehlstrukturen an einem luftgekuehlten Leistungswandler mit Siliziumkarbid-Bauelementen. (Bild: Fraunhofer IISB)
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