K
Katodenzerstäubung
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Ka|to|den|zer|stäu|bung 〈f. 20〉 Form der Materialbearbeitung, bei der ein Material durch Hochspannung an einer Katode zerstäubt wird u. in feinen Schichten auf einem als Anode geschalteten Material niedergeschlagen wird; oV Kathodenzerstäubung
Quelle: Wahrig Wissenschaftslexikon