Schrumpfen Computerchips und Schaltkreise auf immer neue Rekordwerte, sind Mikrofone bisher bei der Größe von Knopfbatterien stehengeblieben. Doch dänische Entwickler wollen nun die empfindlichen Schall-Empfänger für Mobiltelefone selbst auf einen Siliziumchip bannen. Mit nur fünf Kubikmillimeter misst ein Prototyp gerade ein Zehntel handelsüblicher Mini-Mikrofone, berichtet das Magazin Technology Review.
Mit den gleichen Methoden wie bei der Computerchip-Herstellung ätzten die Entwickler des Unternehmens Sonion in Lyngby einen winzigen Holhraum unter eine Silizium-Oberfläche. Übrig bleibt eine 500 Nanometer (Millionstel Millimeter) dünne Membran. Treffen Schallwellen darauf, vibriert diese hauchdünne Schicht und es entsteht ein elektrisches Signal, dass durch weitere Elektronik verarbeitet werden kann. Für diesen Schall-Sensor packten die Forscher mehrere vorgeätzte Silizium-Schichten übereinander, so dass das kompakte Mikrofon im winzigen Chipformat entstand.
“Wenn nur Performance und Größe zählen, ist der Ansatz von Sonion gut”, meint Robert Aigner von Infineon Technologies von München, die ebenfalls an Silizium-Mikrofonen arbeiten. Doch sei es wichtig, so günstig zu produzieren wie bei handelsüblichen Mikrofonen. Sonion geht dieses Ziel optimistisch an und will bereits kommendes Jahr die Serienproduktion ihrer Mikrofon-Chips starten.
Jan Oliver Löfken
